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論文

Chemical vapor deposition of ZrC within a spouted bed by bromide process

小川 徹; 井川 勝市; 岩本 多實

Journal of Nuclear Materials, 97(1-2), p.104 - 112, 1981/00

 被引用回数:46 パーセンタイル:96.7(Materials Science, Multidisciplinary)

種々の核燃料粒子に、1350°~1600$$^{circ}$$CでZrC被覆をほどこした。供給ガス組成はZrBr$$_{4}$$,CH$$_{4}$$H$$_{2}$$,Arであった。結果は、Zr-C-H-Br系の熱化学解析と比較された。メタン流量に、メタン熱分解効率の補正を行う事によって、ZrC蒸着物の重量と組成を供給ガス組成から熱化学的に計算できることが示された。メタン熱分解の活性中心概念と、表面のごく近傍での局所化学平衡とに基づいて、ZrC蒸着モデルを構成し、実験結果を定性的に説明した。

論文

Effect of gas composition on the deposition of ZrC-C mixtures; The bromide process

小川 徹; 井川 勝市; 岩本 多實

J.Mater.Sci., 14(1), p.125 - 132, 1979/00

 被引用回数:21

臭化ジルコニウム、メタン、水素、アルゴンの混合ガスからの、炭化ジルコニウムおよび炭素の化学蒸着挙動について、気体組成の効果を調べた。実験から、主として混合ガス中のメタン濃度が蒸着速度、蒸着物性状の双方を決定することが分かった。また、自由エネルギー最小化法を用いて、Zr-C-H-Br系の化学平衡を計算し、計算結果と実験結果との比較をおこなった。これらの結果から、炭化ジルコニウムの化学蒸着機構を議論した。

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